SRH 시리즈 클린형 압력 조절 밸브 | 리치테크놀러지

상표:Richge Technology(睿其格科技)의 SRH 시리즈

제품 포지셔닝

     SRH 시리즈는 매우 깨끗하고 부식에 강하며 오염이 적은 유체 제어 시나리오를 위해 설계된 고순도 스테인리스강 정밀 압력 조절기입니다. 엄격한 Richge 청정 등급 표준에 따라 제조된 이 밸브는 깨끗한 공기, 질소, 아르곤, 이산화탄소 및 정제수에 대한 안정적이고 정확한 압력 제어를 제공합니다. 이는 반도체, 광전지, LCD 및 바이오의약품 고급 제조 라인을 위한 표준 고청정 조절 부품 역할을 합니다.

핵심 청정 등급 기능

     • 전체 스테인레스 스틸 습식 부품: 모든 접촉 표면에 SUS316/316L 재질을 채택하고 이온 침전이 없고 2차 오염이 없는 내산성 및 내식성을 특징으로 합니다.

     • 엄격한 오일 프리 제조: 클래스 100 클린룸에서 생산되고 16MΩ·cm 초순수로 세척되어 낮은 입자 및 낮은 잔류물 성능을 보장합니다.

     • 최적화된 클린 구조: 내부 오염 및 잔여물 축적을 방지하기 위해 다이어프램 격리 스프링 구조로 불감 부피를 최소화하도록 설계되었습니다.

     • 이중 다이어프램 등급 옵션: 초청정 반도체 환경을 위한 등급 A PTFE 다이어프램; 일반적인 부식 방지 작업 조건을 위한 등급 B FKM 다이어프램.

     • 이중 기능 버전: 고순도 가스 전달 및 진공 시스템 제어 요구 사항에 맞게 릴리프 및 비릴리프 유형을 사용할 수 있습니다.

기술적인 매개변수

     • 구조 유형: 직동식 정밀 압력 조절기

     • 접액부 재질: SUS316/316L, PTFE / FKM 다이어프램

     • 적용매체 : 청정공기, N2, Ar, CO2, 순수

     • 최대 입구 압력: 1.0MPa

     • 조정 가능한 압력 범위: 0.02–0.2 MPa / 0.05–0.7 MPa

     • 접속구경 : Rc1/8, 1/4, 3/8, 1/2

     • 작동 온도: 0℃~60℃

     • 제어 정확도: 히스테리시스 ≤0.01MPa; 반복성 ≤0.005MPa

     • 준수 표준: RoHS, CE, SEMESCO

모델 시리즈

     • SRH3000: 컴팩트형, 1/8"–1/4" 포트 크기에 적용 가능

     • SRH4000: 중간 유형, 1/4"–1/2" 포트 크기에 적용 가능

응용 산업

     반도체 식각 및 CVD 공정 가스 제어, 광전지 및 LCD 제조, 바이오의약품 멸균 가스 및 순수 시스템, 식품 및 전자 불활성 가스 보호, 실험실 크로마토그래피 및 진공 정밀 장비.

핵심 요약

     SRH 시리즈 청정 압력 조절기는 완전한 SUS316L 오일 프리 구조, 낮은 입자 및 낮은 잔류물 성능, 이중 등급 다이어프램 선택 및 고정밀 압력 제어 기능을 갖추고 있습니다. 고급 정밀 제조 산업을 위한 표준 초청정 유체 제어 밸브입니다.