SOLH XSA 상시 폐쇄형 솔레노이드 밸브는 공기 및 불활성 가스용 초고진공 회로용으로 특별히 설계되어 매우 낮은 내부 및 외부 누출률로 1×10⁻⁶ Pa까지의 최종 진공을 지원합니다. 내장된 내부 스프링은 마찰과 입자 발생을 최소화하여 엄격한 클린룸 표준을 충족합니다. 코일 전력 소비가 낮고 본체가 가벼워서 컴팩트하게 통합할 수 있는 이 제품은 페이스 씰, 페룰, 내부 Rc/NPT 스레드를 포함한 다양한 연결 옵션과 완전한 주류 전압 및 배선 단자를 제공합니다. CE 및 RoHS 인증을 받은 이 제품은 반도체, PV, LCD, 의료용 살균, 식품 진공 포장 및 실험실 초고진공 테스트 장비의 안정적인 핵심 스위칭 부품 역할을 합니다.
SOLH XSA 시리즈는 초고진공 회로용으로 특별히 설계된 상시 폐쇄형 솔레노이드 밸브입니다. 공기 및 불활성 가스 매체의 정확한 온-오프 제어를 실현합니다. 최고의 높은 진공 내성, 극소의 누출, 깨끗한 오염 방지 구조 및 빠른 응답 속도를 특징으로 하는 반도체, PV 패널, LCD 디스플레이, 의료 및 식품 가공 기계를 포함한 정밀 공정 장비의 핵심 진공 부품입니다.
2. 핵심 핵심 기능
-- 초고진공 호환성
최소 작동 절대 압력은 1×10⁻⁶ Pa에 도달하여 초고진공 프로세스 표준을 완전히 충족하여 진공 시스템의 안정적인 진공 유지와 빠른 펌핑 효율성을 보장합니다.
-- 탁월한 밀봉 및 초저누설
내부 누출 ≤ 1.3×10⁻⁹ Pa·m³/s; 외부 누출 ≤ 1.3×10⁻¹¹ Pa·m³/s. 이중 저누설 성능은 시스템 진공도를 안정화하고 작업 환경의 위험한 가스 누출 위험을 제거합니다.
-- 깨끗한 저입자 최적화 구조
움직이는 부품의 마찰과 입자 생성을 줄이기 위해 밸브 본체 내부에 내부 스프링이 통합되어 엄격한 클린룸 등급 요구 사항을 충족하는 생산 라인과 완벽하게 일치합니다.
-- 저전력 소비 및 경량화 개요
이전 세대에 비해 코일 전력 소비가 최대 25% 감소했습니다. 전체 중량은 최대 18%(최소 0.41kg) 감소했습니다. 에너지 절약형 설계로 정밀 장비 프레임에 컴팩트하게 통합할 수 있습니다.
-- 다중 연결 옵션
다양한 표준 진공 파이프라인 사양과 호환되는 페이스 씰 피팅, 1/4" 및 3/8" 페럴 압축 피팅, 내부 Rc/NPT 스레드 등 두 가지 범용 연결 방식을 사용할 수 있습니다.
-- 넓은 전압 범위 및 다양한 전기 단자
DC24V, AC110V / AC220V를 포함한 주류 전압을 포괄합니다. 퀵 플러그 터미널, DIN 터미널 및 도관 입구와 같은 다양한 배선 형태는 모든 주류 자동화 제어 시스템에 적합합니다.
-- 안정적이고 안전한 산업 인증
코일 난연 등급 UL94V-0; RoHS, CE, CAT.ES140-7B 표준 인증을 받았으며 장기간 연속 논스톱 산업 운영에 적합합니다.
3. 전체 기술 사양표
매개변수 항목
사양
밸브 종류
상시 닫힘(NC)
적용유체
공기, 불활성 가스
최소 절대 작동 압력
1×10⁻⁶ Pa(복근)
누설률
내부 누설: 1.3×10⁻⁹ Pa·m3/s외부 누설: 1.3×10⁻11 Pa·m³/s
작동 압력 범위
완전 진공에서 양압으로; 내역압력 0.5MPa
중간온도
5~60℃
연결 양식
페이스 씰 / 1/4" 및 3/8" 페룰 피팅; 내부 Rc/NPT 스레드
옵션 코일 전압
DC24V; AC110V / AC220V 및 기타 맞춤형 전압
전력 소비
DC 버전: Size1 ≒ 4.5W, Size2 ≒ 7W, Size3 ≒ 10.5W
주요재료
밸브 본체: SUS 스테인리스 스틸씰: FKM / PETCoil: 구리 + 철심 + 에폭시 수지
4. 일반적인 응용 시나리오
--반도체 제조: 공정 챔버 가스 주입 및 진공 파이프라인 온-오프 제어
-- PV 및 LCD 생산 라인: 초고진공 챔버 펌핑 및 압력 유지 루프
-- 의료 장비: 진공 살균 장비 및 분석 실험실 진공 회로
-- 식품 산업: 진공 포장 및 진공 건조 기계
-- 과학연구실 : 초고진공 실험장치 및 입자물리학 시험장비
5. 모델 예시 및 선정 지침
5.1: 일반적인 모델 코드:XSA1-12S-5G2, XSA1-11P-5G2
5.2주요 선택 포인트
-- 진공 등급 요구 사항 확인: 1×10⁻⁶ Pa(abs) 초고진공 성능이 필요한지 여부
-- 파이프라인 연결 유형 선택: 페이스 씰, 페룰 피팅 또는 Rc/NPT 내부 스레드
-- 코일 전압과 전기 단자를 일치시키십시오: DC24V 또는 AC 시리즈; 퀵 플러그/DIN/도관 배선
-- 포트 크기 확인: 시스템 유량 요구 사항을 충족하기 위한 1/4", 3/8"
한 문장 요약
SOLH XSA 상시 폐쇄형 고진공 솔레노이드 밸브는 매우 낮은 누출, 깨끗한 저입자 내부 구조 및 다중 상호 교환 가능한 연결을 통해 1×10⁻⁶ Pa 초고진공 작동을 지원하며 모든 정밀 진공 산업 공정에서 신뢰할 수 있는 스위칭 구성 요소 역할을 합니다.
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